<sub id="7xhnn"></sub>

      <delect id="7xhnn"></delect>
        <dfn id="7xhnn"></dfn>

        <delect id="7xhnn"><thead id="7xhnn"><mark id="7xhnn"></mark></thead></delect>
          <delect id="7xhnn"><th id="7xhnn"><output id="7xhnn"></output></th></delect><delect id="7xhnn"><progress id="7xhnn"><p id="7xhnn"></p></progress></delect>

          您好,歡迎進入石家莊益創科技有限公司官網!

          全國咨詢熱線

          0311-86133739

          高純氣體管路的設計要點

          2019-12-31 20:40:05 瀏覽次數:
          1、對于不同特性的氣體,要規劃獨立的供應區域,一般分為三個區:腐蝕性/毒性氣體區、可燃性氣體區、惰性氣體區,將相同性質的氣體集中加強管理,可燃性氣體區要特別規劃防爆墻和泄漏口。

           

          2、管路設計要考慮輸送的距離,距離越長,成本越高,風險也越高。通常較合理的設計流速為20ml/s,可燃氣體小于10ml/s,獨行/腐蝕性氣體小于8ml/s,在用量設計方面,則需要考慮使用點的壓力和管徑大小,前者與氣體特性有關,后者使用點的管徑一般為1/4~3/8。

           

          3、根據用氣設備的分布,高純氣體的官網不宜過大或者過長。宜采用不封閉的環形管路,在系統末端連續不斷排放少量的氣體,以便在管網中總有高純氣體流通,不會發生“死空間”引起高純氣體的污染。

           

          4、管路中應減少不流動氣體的“死空間”,不應設有盲管。

           

          5、對高純氣體純度要求不同的用氣設備,宜采用分等級高純氣體輸送系統;也可采用同等級輸送系統,但在純度要求高的用氣設備鄰近處設末端氣體提純裝置。

           

          6、為了檢測高純氣體的純度和雜質含量,輸送系統除了設置必要的連續檢測儀器,如衡量水含量或氧雜質含量等分析儀外,還應設置定期取樣用的檢測采樣口,以便按規定時間進行采樣,分析高純氣體中各種雜質的含量。

           

          7、在亞微米級的集成電路生產中,要求供應10-9級的高純氣體,為了確保末端勇氣工藝設備處的氣體純度,使氣體中的雜質含量(包括塵粒)控制在規定的數值內,一般在設備前設置末端純化裝置,或末端高精度氣體過濾器。

          友情鏈接:

          0311-86133739
          裸戏床戏精品吻胸视频